반도체 공정 - 포토공정

포토공정의 경우 반도체 8대 공정 중 회로를 형성하는 첫 단추인만큼 매우 중요한 공정입니다. 지난 글에서 반도체 소자를 만드는 것을 그림에 비유하였었는데요, 웨이퍼와 산화공정이 도화지를 만들어낸 과정이었다면, 포토공정은 스케치라고 할 수 있습니다. 최근 반도체관련 산업으로 EUV가 주목을 받는 것도 이 포토공정이 고도화되면서 필요한 부분이기 때문인데요, EUV는 Extreme Ultraviolet, 즉 극자외선을 사용하는 공정으로 더 미세한 패턴을 만들기 위한 기술입니다. 포토리소그래피 포토리소그래피란 반도체 뿐만아니라 디스플레이에서도 동일하게 사용하는 공정으로 앞서 말씀드린 것처럼 웨이퍼 위에 회로를 스케치하는 기술입니다. 마치 예전 필름카메라처럼 사진을 인화하듯 원하는 그림, 즉 패턴을 그려내는 공정..