반도체 공정 - 금속공정

반도체 8대 공정 중 지난 글에서는 포토 및 식각을 포함하는 패터닝 공정에 이어 증착 및 이온 임플란트 공정에 대해 알아보았습니다. 이번 글에서는 패터닝 공정 못지않게 중요한 반도체 8대 공정 중에 서가장 기초적이면서도 소자 동작의 근간이 되는 금속 배선 공정에 대해 알아보도록 하겠습니다. 금속 공정이란 금속 공정은 소자 내의 전류 흐름을 위한 금속선을 형성하는 공정과 소자의 금속 배선 공정모두 포함한 공정을 일컬으며 이를 통해 반도체 웨이퍼 위에 형성된 수많은 회로들간 전기가 도통하도록 서로간을 도체로 연결시키는 작업을 의미합니다. 앞서 설명드린 패터닝 및 증착, 이온임플란트 공정 등을 통해 웨이퍼 상에는 소자 구동에 필요한 만큼 반복적인 회로가 형성되게 됩니다. 반복적으로 형성된 회로 사이사이 전기가..