반도체 공정 - 식각공정

앞서 소개드린 여러가지 반도체 공정이 모두 어려운 기술들이지만 그 중에서도 단연 가장 어려운 공정으로 뽑히는 것이 식각공정입니다. 식각이라는 용어 자체가 업계를 경험하지 않은 분들께는 매우 생소할 수 있는데요, 영어로는 etch라고 하며 깎아내는 것을 의미합니다. 보통은 포토 공정을 통해 밑그림을 그린 상태에서 이 식각 공정을 통해 원하는 형대로 웨이퍼를 깎아 내리는데요, 밑그림의 형태 뿐만아니라 깎여나가는 깊이 또한 매우 중요하기 때문에 이 식각 공정의 난이도가 매우 높아집니다. 습식식각 식각은 반도체 뿐만 아니라 디스플레이에서도 매우 중요한 공정 단계인데요, 현대의 미세패턴이 필요한 반도체와 달리 조금은 패턴 및 원장의 크기가 큰 디스플레이의 경우 건식뿐만 아니라 습식식각이 매우 중요합니다. 습식식각..